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Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

Optische Lithographie

Für die optische Belichtung von Photolack wird ein Kontaktbelichter eingesetzt:

Mit einem Maskenjustier- und Belichtungsgerät wird eine Cr-Maske zunächst zur Probe justiert, dann die Maske in Kontakt zur Photolackschicht gebracht und anschließend das Muster der Maske mit UV-Licht auf die Lackschicht der Probe übertragen.

 

Mask- und Bond-Aligner

Hersteller:SÜSS
Typ:MA6 /BA6
Baujahr: