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Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

200 kV- Transmissions-Elektronenmikroskop (TEM) mit Rasterzusatz (STEM)

Strahlquelle  Schottky-Feldemissionskathode mit 4-stufiger Beschleunigerkaskade für 200 keV
Objektiv "Super-Twin"-Objektiv
Punktauflösung < 0,24nm
Projektivsystem direkte Vergrößerung 25 bis 1 100 000-fach
Detektoren EDX-Detektor
Hell- und Dunkelfeld Ringdetektor
Großer und kleiner Leuchtschirm mit Lupe
TV-Kamera
1k-CCD Kamera
Photoplatten