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Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

Ausstattung

 

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM)

Hersteller:ZEISS
Typ:GeminiSEM 560
Baujahr:2022
Strahlquelle:Schottky-Feldemissionskathode
Beschleunigungsspannung:0.02 - 30 kV
max. Auflösung:  0.5 nm bei 15 kV
Detektoren:
In-Lens SE-Detektor
Everhart-Thornley SE-Detektor
In-Lens EsB-Detektor 
aBSD-Detektor
EDX-Detektor