Ausstattung
- Ausstattung
- Forschung
- Technologie
Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM)
Hersteller: | ZEISS |
Typ: | GeminiSEM 560 |
Baujahr: | 2022 |
Strahlquelle: | Schottky-Feldemissionskathode |
Beschleunigungsspannung: | 0.02 - 30 kV |
max. Auflösung: | 0.5 nm bei 15 kV |
Detektoren: |
|