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Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (REM)

Foto des REM Zeiss Supra 40

Strahlquelle  Schottky-Feldemissionskathode 0.1 - 30 keV
Auflösung   1.3 nm bei 15 kV
Detektoren In-Lens SE Detektor
Kammer SE Detektor
BSE Detektor