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Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44

Ausstattung

 

Elektronenstrahlschreiber

Hersteller:Raith
Typ:EBPG 5200
Baujahr:2017
Strahlquelle:Schottky-Feldemissionskathode
Beschleunigungsspannung:20 kV, 50 kV oder 100 kV