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Nanostrukturierung und Reinraumzentrum-Infrastruktur

Arbeitsgruppe 2.44
  • Raster-Elektronenmikroskop Zeiss Supra 40  


  • Elektronenstrahlschreiber (Raith, Typ EBPG 5200)
    Strahlenergie 20, 50 oder 100 keV