Herstellung von metallischen Strukturen mit sub-µm-Abmessungen
Einzelladungs-TransportMetallische Schaltkreise mit Tunnelkontakten im sub-µm Maßstab werden mittels elektronenstrahllithographischer Methoden in unserem Reinraumzentrum hergestellt.
Die wichtigsten Methoden für die Herstellung von Bauelementen, die Einzelladungseffekte zeigen (Single Electron Tunneling), sind:
- Schrägbedampfungstechniken mit Schattenmasken
- Standard-Schrägbedampfung
- Vier-Winkel Schrägbedampfung zur Erzeugung sehr kleiner Inseln
- Schrägbedampfung für hochschmelzende Materialien wie Niob