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Charakterisierung von Mikrowellenprüfspitzen

07.12.2006

Die Eigenschaften von kommerziell erhältlichen breitbandigen Mikrowellenprüfspitzen wurden in einem Frequenzbereich bis 50 GHz mit Hilfe unterschiedlicher Verfahren messtechnisch bestimmt. Zum Einsatz kamen sowohl auf 1-Tor- als auch auf 2-Tor-Kalibrierungen beruhende Verfahren. In beiden Fällen erwies sich eine Vorabcharakterisierung der verwendeten On-Wafer-Kalibrierstandards als besonders wichtig. Zur Kalibrierung an der koaxialen Referenzebene wurde stets eine breitbandige Sliding-Load-SOLT-Kalibrierung eingesetzt. Es zeigte sich, dass die Eigenschaften der Prüfspitzen stark von dem verwendeten Substratmaterial abhängen und dass zum Teil deutliche Abweichungen von den Herstellerdaten auftreten können.