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Kontaktierung von ZnO Nanodrähten

07.12.2006

Zinkoxid (ZnO) ist ein vielversprechendes Material für optoelektronische Schaltungen. Um Nanodrähte aus ZnO elektrisch charakterisieren zu können, wurde ein Verfahren entwickelt, statistisch verteilte Nanodrähte mittels Elektronenstrahllithographie und eines Aufdampfprozesses zu kontaktieren. Dies geschah in Zusammenarbeit mit der Arbeitsgruppe von Prof. Waag am Institut für Halbleitertechnik der Technischen Universität Braunschweig. Als Substrat wurden thermisch oxidierte Siliziumwafer verwendet, auf denen in einem ersten Schritt Justiermarken aufgebracht wurden. Auf diese Wafer wurden die ZnO-Nanodrähte aus einer Ethanol-Lösung abgeschieden. Diese Proben mit zufällig angeordneten Nanodrähten wurden anschließend im Rasterelektronenmikroskop (REM) abgebildet (Bild 1a) und die so erstellten Aufnahmen wurden als Grundlage für die individuelle Kontaktierung der einzelnen Drähte genommen. Die Belichtung erfolgte mit einem Elektronenstrahllithographiesystem und zur Kontaktierung wurde Titan und Gold aufgedampft (Bild 1b). In ersten Experimenten konnten so kontaktierte Nanodrähte elektrisch charakterisiert werden.


Bild 1: Nanodraht vor und nach der Kontaktierung.