Verbesserte Ausrichtung von Wafern
PTB-News 1.2018
20.01.2017
Im Bild sind rotationssymmetrische Gräben mit kontinuierlichem Farbverlauf auf einem Wafer zu sehen.
Zur genauen Bearbeitung von Siliziumwafern muss die Orientierung des Kristalls erkannt werden. Eine PTB-Erfindung verbessert die Bestimmung der Orientierung von <110>-Wafern durch eine zusätzliche Detektion von einstrahlendem Licht auf speziellen Teststrukturen (s. Bild). Sie sind auf der Oberfläche eingebracht und ermöglichen erstmals einen automatisierbaren Bestimmungsprozess. Damit wird die Kristallrichtung mit sehr hoher Genauigkeit bestimmbar, und die Wafer können präziser für Bearbeitungsmaschinen ausgerichtet werden. Das Verfahren ist zudem einfach in bestehende Anlagen integrierbar.
(Technologieangebot 0436)
Vorteile
Kristallrichtung mit sehr hoher Genauigkeit bestimmbar
automatisierbare Bestimmung der Kristallrichtung
einfache Integrierbarkeit
Ansprechpartner für Technologieangebote
Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
andreas.barthel(at)ptb.de