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Positionsgenaue Markerstrukturen

PTB News 2.2021
26.03.2021
Besonders interessant für

dimensionelle Messtechnik

Fertigungsmesstechnik

In der industriellen Fertigung werden häufig Markerstrukturen genutzt, um die relative Lage zweier Objekte zueinander zu ermitteln. Eine neue Messmethode der PTB hat durch die Kombination von optischem Imaging und Scatterometrie eine Auflösung der räumlichen Überlagerung von unter 1 nm erreicht und ist dabei besonders schnell. 

Schematische Darstellung der Signale bei fehlerbehafteter (a) und guter (b) Überlagerung

Dabei werden die Markerstrukturen in den Fokus eines Lasers gebracht und das von ihnen gestreute Licht auf einer Quadrantendiode detektiert. Bei exakter Überlagerung der Strukturen ergibt sich eine symmetrische Intensitätsverteilung an der Diode. Abweichungen hiervon sind ein genaues Maß für die Güte der Überlagerung. Die Methode lässt sich mit einfachen optischen Komponenten in einen Messprozess integrieren. (Technologieangebot 522)

Vorteile

Auflösung räumlicher Überlagerung < 1 nm

schnelle Detektion

einfache Integration

Ansprechpartner

Andreas Barthel,
Telefon: (0531) 592-8307,
Opens window for sending emailandreas.barthel(at)ptb.de,
Opens internal link in current windowwww.technologietransfer.ptb.de