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Reparatur von Dünnschichtsensoren

PTBnews 1.2020
26.02.2020
Besonders interessant für

Hersteller von Dünnschichtsensoren

Ergebnis einer elektrothermischen Entfernung der Durchkontaktierung

Dünnschichtsensoren ermöglichen die hochpräzise und ortsaufgelöste Messung diverser physikalischer Zustände, insbesondere auch an besonders kleinen und schwer zugänglichen Stellen sowie unter rauen Umweltbedingungen. In der Produktion der Dünnschichtsensoren sind mögliche Fehlstellen wie Durchkontaktierungen aufgrund von Pinholes in der Isolierung ärgerlich, da die aufgebrachten Dünnschichtsensoren im Zweifel unbrauchbar sind. Die PTB hat ein Verfahren entwickelt, bei dem vorhandene Fehler mittels elektrothermischer Eliminierung der Durchkontaktierungen zwischen der Sensorschicht und dem Substrat repariert werden. (Technologieangebot 327)

Vorteile

Entfernung von Fehlstellen

Sicherstellung der Funktion

einfache Nachbearbeitung