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Verbesserte Ausrichtung von Wafern

PTB-News 1.2018
20.01.2017
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Hersteller von Mikrochips

Hersteller von mikromechanischen Bauteilen

Im Bild sind rotationssymmetrische Gräben mit kontinuierlichem Farbverlauf auf einem Wafer zu sehen.

Zur genauen Bearbeitung von Siliziumwafern muss die Orientierung des Kristalls erkannt werden. Eine PTB-Erfindung verbessert die Bestimmung der Orientierung von <110>-Wafern durch eine zusätzliche Detektion von einstrahlendem Licht auf speziellen Teststrukturen (s. Bild). Sie sind auf der Oberfläche eingebracht und ermöglichen erstmals einen automatisierbaren Bestimmungsprozess. Damit wird die Kristallrichtung mit sehr hoher Genauigkeit bestimmbar, und die Wafer können präziser für Bearbeitungsmaschinen ausgerichtet werden. Das Verfahren ist zudem einfach in bestehende Anlagen integrierbar.

(Technologieangebot 0436)

Vorteile

Kristallrichtung mit sehr hoher Genauigkeit bestimmbar

automatisierbare Bestimmung der Kristallrichtung

einfache Integrierbarkeit

Ansprechpartner für Technologieangebote

Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
Opens window for sending emailandreas.barthel(at)ptb.de

www.technologietransfer.ptb.de