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Atomar glatte Flächen

PTB-News 1.2017
20.01.2017
Besonders interessant für

Rauheitsmessung

optische Messtechnik

Hersteller von Endmaßen

Monoatomare Stufen in einer Amphitheaterstruktur auf (111)-Silizium

Mit einem neuartigen Herstellungsverfahren werden in der PTB auf (111)-Siliziumwafern gezielt Bereiche bis 150 μm² Größe erzeugt, die sowohl atomar glatte Oberflächen als auch Oberflächen mit monoatomaren Stufen besitzen. Bei dem Verfahren wird ein selbstorganisierender Prozess ausgelöst, der im Ultrahochvakuum an mehreren lithografisch strukturierten Positionen zu einem gezielten Heizprozess führt. Die so hergestellten atomar glatten Flächen ermöglichen einen großen Fortschritt in der Ebenheitsmessung und können in Verbindung mit den monoatomaren Stufen zukünftig als Grundlage für neuartige Prüfkörper und Normale in der dimensionellen Messtechnik dienen. Diese glatten Bereiche können nun auch beidseitig auf polierten Si-Wafern hergestellt werden, also mit einer diskreten Anzahl von Gitterebenen zwischen den gegenüberliegenden Flächen. (Technologieangebot 0440)

Vorteile

Stufen- und Flächennormale höchster Güte

einsetzbar für optische Verfahren

Ansprechpartner für Technologieangebote

Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
andreas.barthel(at)ptb.de

www.technologietransfer.ptb.de