Membrandickenmessung
PTB-News 3.2016
01.09.2016
Aufbau des mikroelektromechanischen Systems mit zwei Faserinterferometern
Frei stehende dünne Membranen werden in vielen wissenschaftlichen und industriellen Bereichen eingesetzt. Die Dicke der Membranen ist hier häufig funktionsrelevant. Das neue Messprinzip der PTB ermöglicht es, die Membrandicke schnell und sehr genau zu bestimmen. Die Membran wird dabei von beiden Seiten kontaktiert. Durch Integration zweier Faserinterferometer in das mikroelektromechanische System können kleine Messunsicherheiten erreicht werden. (Technologieangebot 0361)
Vorteile
hohe Präzision durch Mikrotechnik
Membranen aus transparenten und weichen Materialien messbar
Ansprechpartner für Technologieangebote
Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
andreas.barthel(at)ptb.de
www.technologietransfer.ptb.de