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Symbolbild "Zeitschriften"

Polierverfahren für Siliziumkugeln

PTB-News 3.2016
01.09.2016
Besonders interessant für

Hersteller von Präzisionskugeln

nationale Metrologieinstitute

Fertigungskette einer 1-kg-Siliziumkugel am Beispiel des Avogadro-Projekts; Darstellung der Verfahrensstufen vom Rohling bis zur perfekten Sphäre

Ultrapräzise Kugeln weisen lediglich Formfehler und eine Rauheit im Nanometer-Bereich auf. Ihre Kristalloberflächen sind gleichzeitig frei von metallischen Kontaminationen und zeigen keine Schädigungen in der Tiefe des Werkstoffs. All dies stellt höchste Anforderungen an den Fertigungsprozess. Mit dem Ultrapräzisions-Fertigungsverfahren ist es möglich, Kugeln mit geringen Formabweichungen im 20-nm-Bereich reproduzierbar herzustellen. Basis der Erfindung ist ein schwenkbares, membrangelagertes Polierwerkzeug für eine optimierte Steuerung des Poliervorgangs. (Technologieangebot 0404)

Vorteile

geringe Formabweichungen im 20-nm-Bereich

Mittenrauwerte von unter 1nm

Ansprechpartner für Technologieangebote

Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
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