Polierverfahren für Siliziumkugeln
PTB-News 3.2016
01.09.2016
Fertigungskette einer 1-kg-Siliziumkugel am Beispiel des Avogadro-Projekts; Darstellung der Verfahrensstufen vom Rohling bis zur perfekten Sphäre
Ultrapräzise Kugeln weisen lediglich Formfehler und eine Rauheit im Nanometer-Bereich auf. Ihre Kristalloberflächen sind gleichzeitig frei von metallischen Kontaminationen und zeigen keine Schädigungen in der Tiefe des Werkstoffs. All dies stellt höchste Anforderungen an den Fertigungsprozess. Mit dem Ultrapräzisions-Fertigungsverfahren ist es möglich, Kugeln mit geringen Formabweichungen im 20-nm-Bereich reproduzierbar herzustellen. Basis der Erfindung ist ein schwenkbares, membrangelagertes Polierwerkzeug für eine optimierte Steuerung des Poliervorgangs. (Technologieangebot 0404)
Vorteile
geringe Formabweichungen im 20-nm-Bereich
Mittenrauwerte von unter 1nm
Ansprechpartner für Technologieangebote
Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
andreas.barthel(at)ptb.de
www.technologietransfer.ptb.de