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Referenzausgasungsprobe

PTB-News 1.2015
07.04.2015
Besonders interessant für
  • Vakuumtechnik
  • Halbleiterindustrie
  • Raumfahrttechnik

Die verlässliche, quantitative Messung der Ausgasungsraten von Vakuumkomponenten hat in den letzten Jahren erheblich an Bedeutung gewonnen. Mit der neuen Referenzausgasungsprobe der PTB lassen sich solche Ausgasungsratenmesssysteme kalibrieren und auf ein nationales Normal rückführen. Die kompakte Bauweise erlaubt den Einsatz in vielfältigen Szenarien. Die Probe liefert einen genau bekannten, konstanten bzw. über Jahre nur langsam abnehmenden Gasstrom und ist für die Ausgasung von unterschiedlichen Gasen oder auch Gasmischungen konzipiert. (Technologieangebot #357)

Vorteile
  • konstante Ausgasungsraten von 10–8 Pa L/s bis zu 10–4 Pa L/s
  • Vergleichbarkeit von Messungen an verschiedenen Standorten
  • Rückführbarkeit auf ein nationales Normal

Ansprechpartner Technologieangebote:

Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
E-Mail: andreas.barthel(at)ptb.de
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