Prüfkörper mit extrem scharfen Kanten
PTBnews 1.2021
07.01.2020
Mikrobauteil aus einem Siliziumwaferverbund
Die PTB hat ein neues Verfahren für die dimensionelle Messtechnik entwickelt, das zur Herstellung von Normalen mit tiefen Gräben und scharfen Kanten geeignet ist. Durch Nutzung eines anisotropen Ätzprozesses wird unter einem Siliziumwafer mit einer <110>-Kristallorientierung als Ätz-Stopp-Schicht ein <111>-Wafer als zweite Siliziumschicht appliziert. Durch einen lithografischen Prozess können aus dem Silizium-auf- Silizium-Verbund Prüfnormale mit unterschiedlich breiten, scharfkantigen Rillen, senkrechten Flanken und ebenen Böden erzeugt werden. Sie dienen in einem ersten Anwendungsbeispiel zur normgerechten Überprüfung von Tastspitzen zur taktilen Vermessung in der Rauheitsmesstechnik. (Technologieangebot 496)
Vorteile
Herstellung von scharfen Kanten
Gräben mit hohem Aspektverhältnis und einem ebenen Boden
normgerechte Umsetzung
Ansprechpartner für diese Technologieangebote
Andreas Barthel, Telefon: (0531) 592-8307, E-Mail: 
andreas.barthel(at)ptb.de, 
www.technologietransfer.ptb.de