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Mikro-Sensor für Nanokräfte

Lizenzpartner gesucht
Besonders interessant für:
  • medizinische Forschung
  • Mikro- und Nanotechnologie
Rasterelektronenmikroskop-Aufnahme des Sensors

Kleine Kräfte müssen gemessen werden, wenn man etwa die Eigenschaften biologischer Gewebeproben in der Medizin oder neuer funktionaler Oberflächen untersucht. Der neue PTB-Nanokraftsensor besitzt ein Tastelement, dessen Auslenkung über kapazitive Kammsensoren detektiert wird. So können kleine Kräfte bis zu 10 nN erfasst werden. Ein integriertes Interferometer ermöglicht die Kalibrierung der Auslenkung. Die Entwicklung basiert auf einem mikroelektromechanischen System (MEMS), das lithografisch relativ einfach und kostengünstig hergestellt werden kann.

Ansprechpartner:

Uwe Brand
Fachbereich 5.1 Oberflächenmesstechnik
Telefon: (0531) 592-5111
uwe.brand(at)ptb.de