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Interferometrie bei unterschiedlicher Reflexion

Lizenzpartner gesucht

Besonders interessant für:

  • Optik
  • Halbleiterindustrie

Die Beurteilung der optischen Qualität von Oberflächen mithilfe eines Fizeau-Interferometers wird immer dann deutlich aufwendiger, wenn diese Oberflächen sehr unterschiedlich reflektieren, denn dann braucht man verschiedene Referenzflächen. Ein in der PTB entwickeltes Fizeau-Interferometer vermeidet dies. Mithilfe eines kommerziell verfügbaren (sogenannten „On-axis“-)Strahlteilers, der entlang der optischen Achse das eingestrahlte Licht separiert, lässt sich stets ein maximaler Kontrast herstellen, unabhängig
vom Reflexionsgrad der Probe. Durch die Reduzierung auf eine Zweistrahlinterferenz vereinfacht sich auch die Auswertung. Letztendlich ermöglicht es die erhöhte Messdynamik, Topografie-Messungen auch in schwingungsbelasteten Umgebungen durchzuführen.