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Symbolbild "Zeitschriften"

Die Ebenheit großer Flächen messen

Lizenzpartner gesucht
Besonders interessant für:
  • Optische Industrie
  • Halbleitertechnologie

Der Bedarf von Wissenschaft und Industrie nach Ebenheitsmessungen an immer größeren optischen Flächen wächst stetig. Prüfl inge mit 600 mm Durchmesser sind keine Seltenheit mehr. Solch große Flächen können nun mit Interferometern gemessen werden, die kleiner als die Fläche selber sind. Bei dem neuen Rotations-Stitching werden beliebig viele Teil-Topographien aufgenommen, wobei der zu messende Prüfl ing gedreht wird. Durch die spezielle Anordnung des Prüflings können außerdem störende Einflüsse der Schwerkraft eliminiert werden, da man vermeiden kann, im Bereich der Aufl agepunkte zu messen. Somit ist das Verfahren nicht nur wesentlich preiswerter als bisherige Messmethoden, sondern in einer solchen Anwendung auch genauer. Messunsicherheiten im Nanometerbereich sind erreichbar.

Ansprechpartner

Heiko Reinsch
Fachbereich 4.2 Bild- und Wellenoptik
Tel. (0531) 592-4219
E-Mail: heiko.reinsch(at)ptb.de