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Niederenergie-Kompaktspeicherring wird in Berlin-Adlershof gebaut

Die PTB errichtet in Berlin-Adlershof einen Niederenergie-Kompaktspeicherring, der für die Metrologie im Spektralbereich vom Ultravioletten (UV) bis zum extremen UV (EUV) optimiert ist.

Photonenfluss des Kompaktspeicherrings im Vergleich zu BESSY II

Die PTB nutzte den Elektronenspeicherring BESSY I in Berlin-Wilmersdorf 18 Jahre lang bis zu seiner Stilllegung Ende 1999, um radiometrische Einheiten im UV- und EUV-Bereich darzustellen und weiterzugeben. Als Nachfolgequelle in diesem Spektralbereich errichtet die PTB einen Kompaktspeicherring mit durchstimmbarer Elektronenenergie von 200 MeV bis 600 MeV. Der Speicherring wird in enger Kooperation mit der Berliner Elektronenspeicherring-Gesellschaft mbH (BESSY) am Wissenschafts- und Wirtschaftsstandort Berlin-Adlershof entstehen und zusammen mit dem seit 1999 von der PTB für die Röntgenradiometrie genutzten Hochenergie-Speicherring BESSY II das europäische Kompetenzzentrum für die Metrologie mit Synchrotronstrahlung bilden.

Nach einer vierjährigen Bauphase soll die Anlage im Jahr 2007 in Betrieb gehen. Sie wird das einzige primäre Strahlernormal für den UV- und EUV-Bereich in Europa sein und nicht nur von der PTB für eigene Zwecke, sondern auch von anderen metrologischen Staatsinstituten genutzt werden. Ferner wird an ihr insbesondere die EUV-Lithographie vorangetrieben, die nach der aktuellen "International Technology Roadmap for Semiconductors" ab dem Jahr 2007 Halbleiterstrukturbreiten von 65 nm erzeugen soll. Weitere Entwicklungsstufen, so die Prognose, werden bis zu Strukturbreiten von 22 nm im Jahr 2016 führen. Dazu sind umfangreiche "at-wave-length"-Messungen mit 13-nm-Strahlung unverzichtbar. Der Kompaktspeicherring nützt somit vor allem auch der optischen Industrie, die ein starkes Interesse an metrologischer Unterstützung im UV- und EUV-Bereich hat.

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