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Nachrichten aus Abteilung 5

Um das Potential dieser klassischen Frequenzkammquelle in der industriellen Längenmesstechnik zu untersuchen, wurde ein Kourogi-Kamm aus einfachen Komponenten aufgebaut. Er weist einen Modenabstand von 9,2 GHz und ca. 50 Kammlinien auf und soll in einem absolut messenden Interferometer angewendet werden.

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Die Nanokraftmesseinrichtung der PTB soll dazu genutzt werden, die Gültigkeit des Newtonschen Gravitationsgesetzes im Mikro- und Submikrometer Bereich zu prüfen. Dazu wurde auf Basis moderner mikrotechnologischer Silizium-Strukturierungsverfahren ein Messverfahren entwickelt, mit dem eine Verbesserung der Empfindlichkeit im Bereich von 103 bis 104 verglichen mit bisherigen Messmethoden erreicht...

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Vor drei Jahren wurde ein Ansatz zur Rekonstruktion von Formabweichungen der Siliciumkugeln des Avogadro-Projekts vorgestellt. Eine Erweiterung des zu Grunde liegenden Modells minimiert systematische Abweichungen und ermöglicht die direkte Berechnung der Messunsicherheit an Stelle der vorherigen auf Vergleichsmessungen basierenden Genauigkeitsabschätzung.

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Zur hochgenauen Bestimmung der Linienbreite (CD-Werte) von Nanostrukturen wurden Messungen sowohl mit einem Raster-kraftmikroskop als auch mit höchstauflösenden Transmissions-elektronenmikroskopen (TEM) durchgeführt und miteinander verknüpft. Im Ergebnis können Linienbreiten von Referenzstruk-turen nun mit einer erweiterten Messunsicherheit von U(k=2) = 1,6 nm kalibriert werden.

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Im Rahmen des MNPQ-Projektes ModELitho wird ein Softwaretool zur Simulation der Elektronenstreuung im Festkörper für die Elektronenstrahllithographie weiterentwickelt, um 3D-Proximity-Effekte sowie Aufladungseffekte mit dem Ziel zu untersuchen, Gerätekomponenten und Belichtungsstrategien der Elektronenstrahllithographie zu optimieren.

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