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Nachrichten aus Abteilung 5

Um neben der Längenabweichung auch die Geradheit von Teilungen kalibrieren zu können wurde der Nanometerkomparator mit einem neu entwickelten Heterodyn-Interferometer ausgestattet. Das Planspiegelinterferometer basiert auf räumlich getrennt zugeführten Strahlen mit 1,5 MHz Differenzfrequenz zur Vermeidung periodischer Nichtlinearitäten sowie drei parallelen Messstrahlen, um die Spiegeltopographie...

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Im Rahmen des MNPQ-Projekts „Rückführbare und robuste Kalibrierverfahren für Mikroinnenstrukturen“ wurde am Beispiel von Mikroinnengewinden (u.a. M0,7x0,175) eine vollständige Verfahrenskette für die Kalibrierung von Mikroinnenstrukturen erstellt. Hierzu wurden u. a. zum Patent angemeldete Mikrohanteltasterstifte mit Tastkugeldurchmessern bis hinunter zu 110 µm und ein flächenhaftes...

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Ein 3D-Mikrotaster auf Silizium-Basis mit Tastkugeldurchmessern zwischen 50 und 300 µm wurde in ein industrielles Verzahnungsmessgerät integriert. Damit sind zukünftig Messungen von Verzahnungen mit Modulen bis unter 0,2 mm möglich. Grundsätzlich lässt sich der Mikrotaster in jedes Koordinatenmessgerät ohne aufwändige Anpassungen integrieren.

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Zur Minimierung der Antriebsschwingungen des Messschlittens am Nanometerkomparator sollen die Signale des Vakuum-Interferometers zur Feinregelung des Messschlittens mit einer Tauchspule genutzt werden. Erste Messungen an einem Testaufbau mit einem einachsigen Positioniersystem mit Luftlagern, an welchem die laser-interferometrischen Positionssignale hoch-aufgelöst demoduliert und einer...

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