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Symbolbild: "Wissenschaftlich-technische Publikationen"

PTB-Berichte Optik (Opt)

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PTB-Opt-15

Vorträge des 50. PTB-Seminars "Mikrometrologie"

Autor(en): D. Hahn und D. Hoeschen
Jahr: 1983
Seite(n): 304 S., 206 Abbildungen
Verschiedenes: DM 48,50
Zusammenfassung: Absolutmessungen von Strukturbreiten im Mikrometerbereich mit dem Lichtmikroskop - Kalibrierung von photoelektrischen Meß-mikroskopen für Messungen von Feinstrukturen - Optische Meß-methoden in der Halbleiterindustrie - Meßtechnische Aufgaben und Probleme bei Herstellung von photolithographischen Masken - Meßergebnisse verschiedener Laboratorien: NBV, IBM, PTB - Präzisionsmessungen mit Bildverarbeitung für Halbleiteranfertigung - Abbildungstester - Metrologische Möglichkeiten der Elektronenmikroskopie - Elektronenstrahl-Metrologie an Halbleiterbauelementen - Mikrobereichs-Schichtdickenbe-stimmung durch Elektronenrückstreuung - Rauheitsmessung mit dem Raster-Elektronenmikroskop (REM) - Vergleichende Ober-flächenmessungen mit Tastschnitt- u. optischen Meßgeräten.

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