PTB-Berichte Optik (Opt)
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PTB-Opt-15 | Vorträge des 50. PTB-Seminars "Mikrometrologie" |
|---|---|
| Autor(en): | und |
| Jahr: | 1983 |
| Seite(n): | 304 S., 206 Abbildungen |
| Verschiedenes: | DM 48,50 |
| Zusammenfassung: | Absolutmessungen von Strukturbreiten im Mikrometerbereich mit dem Lichtmikroskop - Kalibrierung von photoelektrischen Meß-mikroskopen für Messungen von Feinstrukturen - Optische Meß-methoden in der Halbleiterindustrie - Meßtechnische Aufgaben und Probleme bei Herstellung von photolithographischen Masken - Meßergebnisse verschiedener Laboratorien: NBV, IBM, PTB - Präzisionsmessungen mit Bildverarbeitung für Halbleiteranfertigung - Abbildungstester - Metrologische Möglichkeiten der Elektronenmikroskopie - Elektronenstrahl-Metrologie an Halbleiterbauelementen - Mikrobereichs-Schichtdickenbe-stimmung durch Elektronenrückstreuung - Rauheitsmessung mit dem Raster-Elektronenmikroskop (REM) - Vergleichende Ober-flächenmessungen mit Tastschnitt- u. optischen Meßgeräten. |