Das in der PTB entwickelte TMS (Traceable Multi Sensor) Verfahren kann auch zur direkten Ermittlung systematischer Interferometerabweichungen und damit zur direkten Kalibrierung von flächenmessenden Interferometern eingesetzt werden. Es wurde nachgewiesen, dass sich dabei besonders bei großen Interferometern Vorteile ergeben.
(M. Schulz, A. Wiegmann, FB 4.2, Michael.Schulz@ptb.de)
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