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| Titel: | Charakterisierung von Nanostrukturen aund Substraten der Halbleiterindustrie |
|---|---|
| Autor(en): | B. Bodermann, J. Flügge and H. Groß |
| Jahr: | 2011 |
| Buchtitel: | PTB-Mitteilungen 2/2011 "Themenschwerpunkt Nanometrologie" |
| Schlüsselwörter: | 8.41,Nanometrology |
| Marker: | 8.41, Scatter-Inv |