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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Artikel

Titel: Impact of different stochastic line edge roughness patterns on measurements in scatterometry - a simulation study
Autor(en): H. Gross, S. Heidenreich and M. Bär
Journal: Measurement
Jahr: 2017
Band: 98
Seite(n): 339--346
DOI: 10.1016/j.measurement.2016.08.027
Marker: 8.4,8.41,Scatter-Inv

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