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Beitrag zu Tagungsband
| Titel: | Direkte Kalibrierung flächenmessender Interferometer mit dem TMS-Verfahren |
|---|---|
| Autor(en): | M. Schulz, A. Marquez, A. Wiegmann and C. Elster |
| Jahr: | 2008 |
| Buchtitel: | DGaO Proceedings |
| Veranstaltungsname: | DGaO 2008 |
| Datei / URL: | http://www.dgao-proceedings.de/download/109/109_a6.pdf |
| Marker: | 8.42, Form, SimOpt |