Publikations Einzelansicht
Beitrag zu Tagungsband
| Titel: | On numerical reconstruction of lithographic masks in DUV scatterometry |
|---|---|
| Autor(en): | M.-A. Henn, R. Model, M. Bär, M. Wurm, B. Bodermann, A. Rathsfeld and H. Groß |
| Jahr: | 2009 |
| Buchtitel: | SPIE Proc. 7390 |
| Schlüsselwörter: | 8.41,Scatter-Inv |
| Marker: | 8.41,Scatter-Inv |