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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Artikel

Titel: Improved grating reconstruction by determination of line roughness in extreme ultraviolet scatterometry
Autor(en): M.-A. Henn, S. Heidenreich, H. Groß, A. Rathsfeld, F. Scholze and M. Bär
Journal: Opt. Lett.
Jahr: 2012
Band: 37
Ausgabe: 24
Seite(n): 5229--5231
DOI: 10.1364/OL.37.005229
Schlüsselwörter: 8.41,Scatter-Inv
Marker: 8.41,Scatter-Inv

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