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Modellierung und Simulation

Arbeitsgruppe 8.41

Publikationen 8.41

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Beitrag zu Tagungsband

Titel: Computational methods estimating uncertainties for profile reconstruction in scatterometry
Autor(en): H. Gross, A. Rathsfeld, F. Scholze, R. Model and M. Bär
Jahr: 2008
Seite(n): 6995OT-1 – 6995OT-9
Proc. SPIE6995
Marker: 8.41, Scatter-Inv

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