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Quantifizierung von Unsicherheiten in der Nanometrologie

05.07.2023

Am 23. Mai 2023 fand der diesjährige QUNOM (Quantification of Uncertainties in Nano Optical Metrology)-Workshop mit Teilnehmern aus mehreren europäischen Ländern statt. Der Workshop wurde von der XUV-Gruppe an der Universität Twente ausgerichtet und mitorganisiert von Dr. Sebastian Heidenreich (PTB Arbeitsgruppe 8.43 Modellierung und Simulation) und Dr. Victor Soltwisch (Arbeitsgruppe 7.14 EUV Nanometrologie).

Die zuverlässige Quantifizierung von Messunsicherheiten ist für die Weiterentwicklung der Nanotechnologie von entscheidender Bedeutung. Obwohl grundsätzlich jede Messung mit einer Unsicherheit behaftet ist, wird deren exakte Bestimmung oft vernachlässigt. Die EUV-Nanometrologie-Gruppe an der PTB hat diesen Bedarf erkannt und organisiert seit 2019 diese jährliche Workshop-Reihe. Die Veranstaltung brachte insbesondere junge Forscher zusammen, um Messungen und mathematische Ansätze zur Unsicherheitsquantifizierung zu diskutieren. Das Programm konzentrierte sich auf die Physik und Mathematik zu optischen Messverfahren wie Röntgenstreuung und kohärenter Bildgebung. Darüber hinaus wurde ein Übungsteil organisiert, um die praktische Bestimmung der Unsicherheit zu veranschaulichen.

Dr. Igor Makhotkin, Assistenzprofessor an der Universität Twente, erklärte die Bedeutung des Workshops wie folgt: "Wir haben den QUNOM-Workshop organisiert, um das Bewusstsein für die Notwendigkeit interdisziplinärer Zusammenarbeit unter jungen Forschern zu stärken und den Aufbau einer dynamischen Gemeinschaft zu fördern. Wir haben Aspekte der Messung und der mathematischen Grundlagen in der Analyse von optischen Daten mit einem starken Fokus auf die Unsicherheitsbetrachtung diskutiert."

https://www.qunom.ptb.de/home

 

Ansprechpartner:

V. Soltwisch, 7.14, E-Mail: victor.soltwisch(at)ptb.de