08.11.2023
Design-Schema der VUVR Strahlführung, oben rechts: Monochromator-Gitter bei der Justage
An der Metrology Light Source (MLS) wurde eine neue Strahlführung für die Radiometrie im Vakuum-Ultravioletten Spektralbereich (VUVR) erfolgreich in Betrieb genommen. Durch eine schnelle Umlenkung der Strahlung auf drei verschiedene Messplätze erhöht sich die Verfügbarkeit für unterschiedliche Messaufgaben deutlich.
Die neue Strahlführung bietet eigene Strahlrohrzweige für die radiometrische Kalibrierung von Strahlungsempfängern, die Charakterisierung optischer Materialien und Komponenten (Reflektometrie), und die Untersuchung komplexer (bildgebender) Detektionssysteme und Spektrometer.
Der Wellenlängenbereich zwischen 40 nm und 200 nm, d.h. die Spektralbereiche der Ultraviolettstrahlung (UV), des „tiefen“ (deep) UV und des Vakuum-Ultraviolett (VUV), gewinnen neben der Bedeutung für die Grundlagenforschung auch zunehmend industrielles Interesse, z.B. für die Erhöhung der Ortsauflösung “klassischer“ optischer Metrologie für die Inspektion von Wafer-Strukturen in der Halbleiterfertigung und als “out-of-band“ Spektralbereich in der EUV-Lithographie. Typische Anwendungen im industriellen Bereich liegen in Materialuntersuchungen und der Charakterisierung von optischen Systemen. Grundlagenforschungsorientierte Messungen sind z.B. Untersuchungen zur Photoelektronentomographie sowie die Charakterisierung von spektroskopischer Satteliteninstrumentierung für die Astrophysik.
Veröffentlichung:
O. Ogor et al., J. Phys.: Conf. Ser. 2380 , 012032 (2023),
https://doi.org/10.1088/1742-6596/2380/1/012032
Ansprechpartner:
A. Gottwald, 7.13, E-Mail: alexander.gottwald(at)ptb.de