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Neues kohlenwasserstofffreies EUV-Reflektometer im Routinebetrieb

30.10.2023

Die aktuelle Generation der industriellen Halbleiterfertigung nutzt Extrem-Ultraviolettstrahlung (EUV) bei einer Wellenlänge von 13,5 nm. Seit über 25 Jahren bietet die PTB hochgenaue Messungen der Reflexionseigenschaften von optischen Elementen bei dieser Wellenlänge an, und war damit maßgeblich an der Technologieentwicklung beteiligt.

Um den mittlerweile deutlich gestiegenen Anforderungen bezüglich Reinheit und Positioniergenauigkeit zu genügen, wurde ein in der PTB entwickeltes, neues Reflektometer mit einem kohlenwasserstofffreien Vakuumsystem und verbesserter Probenpositionierung in Betrieb genommen. Die Kontamination durch Kohlenwasserstoffe der im Vorgängermodell noch genutzten Schmiermittel war für die untersuchten Optiken der industriellen Partner nicht mehr akzeptabel. Zudem können auch große Proben, wie Spiegel mit einem Durchmesser von 700 mm und einer Masse bis 150 kg, mit der neuen steiferen Mechanik präziser im Messstrahl positioniert werden.

Das Instrument steht seit dem ersten Quartal 2023 für Messungen zur Verfügung und kann durch weitestgehend automatisierte Messprozeduren täglich rund um die Uhr genutzt werden. Die spezifizierten Eigenschaften wurden mittlerweile nachgewiesen, und das neue Gerät hat nun die Freigabe für Messungen an High-End Optiken unserer Industriepartner.

Link: Neues EUV-Reflektometer - PTB.de

Ansprechpartner:

A. Fischer, 7.16, E-Mail: andreas.fischer(at)ptb.de