Logo PTB

Posterpreis Adlershofer Forschungsforum 2019

11.12.2019

© IGAFA/Matthias Brandt

Analía Fernández Herrero, Doktorandin in der Arbeitsgruppe 7.14 „EUV-Nanometrologie“, hat für ihre Arbeiten zu Kantenrauheit bei geätzten Linienstrukturen den Posterpreis auf dem Adlershofer Forschungsforum am 11. November 2019 gewonnen. In ihren Untersuchungen mit Röntgenkleinwinkelstreuung (GISAXS) an Liniengitterstrukturen im Nanometerbereich konnte sie zeigen, dass diffuse Röntgenstreuung genutzt werden kann, um Form und Rauheit der Kanten zu bestimmen. Diese neue Messtechnik könnte für photolithographische Prozesse nützlich sein, um große Bereiche von nanostrukturierten Oberflächen sehr viel schneller als mit herkömmlichen (rasternden) Verfahren zu untersuchen.

Veröffentlichung: Fernández Herrero, A., Pflüger, M., Probst, J., Scholze, F. & Soltwisch, V. (2017). J. Appl. Cryst. 50, 1766-1772. doi: 10.1107/S1600576717014455

Ansprechpartner:

V. Soltwisch, 7.14, E-Mail: Opens window for sending emailVictor.Soltwisch(at)ptb.de