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Nachrichten der Fachbereiche 7.1 und 7.2

Am 23. Mai 2023 fand der diesjährige QUNOM (Quantification of Uncertainties in Nano Optical Metrology)-Workshop mit Teilnehmern aus mehreren europäischen Ländern statt. Der Workshop wurde von der XUV-Gruppe an der Universität Twente ausgerichtet und mitorganisiert von Dr. Sebastian Heidenreich (PTB Arbeitsgruppe 8.43 Modellierung und Simulation) und Dr. Victor Soltwisch (Arbeitsgruppe 7.14 EUV...

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Die Halbleiterindustrie benötigt Messysteme, mit denen die Dimensionen von Transistorstrukturen im Nanometerbereich schnell, zerstörungsfrei und metrologisch zuverlässig charakterisiert werden können. Eine große Herausforderung ist dabei die Begrenzung der Auflösung der Messsysteme durch die Wellenlänge der eingesetzten Strahlung. An der PTB und der RWTH Aachen wird deshalb die Verwendung von...

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Auf der Fachtagung ‚Prozessnahe Röntgenanalytik (PRORA) 2022‘ wurde Karina Bzheumikhova, Doktorandin in der Arbeitsgruppe 7.24 Röntgenspektrometrie, mit dem Posterpreis für die Präsentation ihrer Arbeit ‚X-ray spectroscopy investigation of LiNixCoyMn1-x-yO2 cathode materials: the final step to understanding pristine NMC cathode materials‘ ausgezeichnet.

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