Die Halbleiterindustrie benötigt Messysteme, mit denen die Dimensionen von Transistorstrukturen im Nanometerbereich schnell, zerstörungsfrei und metrologisch zuverlässig charakterisiert werden können. Eine große Herausforderung ist dabei die Begrenzung der Auflösung der Messsysteme durch die Wellenlänge der eingesetzten Strahlung. An der PTB und der RWTH Aachen wird deshalb die Verwendung von...
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