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Nachrichten des Fachbereichs 7.1

In Kooperation mit dem Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB) und der Tsinghua-Universität Peking wurde an der Metrology Light Source (MLS), dem Elektronenspeicherring der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt in Berlin, der Machbarkeitsnachweis für die erste Stufe des sogenannten „Steady State Micro Bunching“ (SSMB) erfolgreich erbracht. Es konnte damit erstmals an einem Speicherring gezeigt werden,...

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Metrologie mit Synchrotronstrahlung für die Halbleiterfertigung

Die Ankündigung der großen Halbleiterproduzenten Samsung und TSMC im Herbst 2018, EUV-Lithografie (EUVL) für die Herstellung ihrer High-End-Prozessoren einzusetzen, markiert den kommerziellen Durchbruch dieser Technologie nach einer langen Phase der Vorlaufforschung. Die PTB unterstützt bereits seit zwanzig Jahren die Entwicklung von...

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Die zunehmende Komplexität von nano-strukturierten Oberflächen bei technologischen Anwendungen ist eine enorme Herausforderung auch für deren metrologische Charakterisierung. Besonders in der Halbleiterindustrie sind hochkomplexe und mehrdimensionale Nanostrukturen, die aus unterschiedlichen Materialien zusammengesetzt sind, von großer Bedeutung. Im PTB-Laboratorium am Elektronenspeicherring BESSY...

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Fundamentale Materialparameter wie zum Beispiel die Wirkungsquerschnitte zur Wechselwirkung von Materie mit Strahlung sind sowohl für die Grundlagenforschung als auch für diagnostische und analytische Anwendungen von großer Bedeutung. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPM in Freiburg i. Br. wurden an der Metrology Light Source kürzlich die...

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PTB und ASML nehmen bei BESSY II ein neues Forschungs-Strahlrohr in Betrieb  

Die fortschreitende Miniaturisierung der Mikroelektronik macht es unumgänglich: Zukünftig müssen die Strukturen auf den Mikrochips und anderen Bauteilen mithilfe von Lithografie im EUV-Bereich hergestellt werden, also mit einer extrem kleinen Wellenlänge von nur 13,5 nm. Für Testmessungen haben die Physikalisch-Technisc...

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Raul Garcia Diez vom Helmholtz-Zentrum Berlin und ehemaliger Doktorand der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) wurde am 14. Februar 2018 in Berlin-Adlershof für seine in der Arbeitsgruppe Röntgenradiometrie im PTB-Labor bei BESSY II angefertigte Promotionsarbeit mit dem Dissertationspreis Adlershof 2017 ausgezeichnet. Der Preis ist mit 3000 € dotiert und...

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