Logo PTB

PTB-Beteiligung an großem EU-Projekt zur Entwicklung der Halbleiterindustrie

21.05.2015

Kürzlich fand bei IMEC in Leuven das Kick-Off-Meeting statt für das Projekt “Seven Nanometre Technology“ (SeNaTe) unter dem EU-Programm Horizont 2020 im ECSEL-Call 2014-2 “Innovation Actions“. Die PTB ist einer von 41 Partnern in dem 3-jährigen Projekt zur Entwicklung der technologischen Infrastruktur für die Fertigung von Halbleiterbauelementen mit 7-nm-Technologie. Dabei soll die technologische Infrastruktur für die Lithographie mit Strahlung um 13,5 nm Wellenlänge (EUV) in der Volumenproduktion geschaffen werden. Neben großen Firmen wie Carl Zeiss und ASML sind auch viele KMU und Forschungsinstitute unter den Partnern, von denen 15 aus Deutschland kommen. Die Gesamtfördersumme von EU und nationaler Kofinanzierung beträgt ca. 65 Mio €.

Im Projekt trägt die PTB mit ihrer über viele Jahre entwickelten Expertise in der EUV-Radiometrie bei durch die Charakterisierung von optischen Komponenten und Detektoren und durch Beratung zum Aufbau der messtechnischen Infrastruktur. Umgekehrt hilft der PTB die Einbindung in ein solches industrielles Großprojekt, ihre Messtechnik auf der Basis von Synchrotronstrahlung an den Speicherringen BESSY II und MLS in Berlin-Adlershof anwendungsorientiert weiterzuentwickeln und ihre weltweit führende Stellung in diesem Bereich zu festigen.

Ansprechpartner:

F. Scholze, 7.12, E-Mail: Opens window for sending emailFrank.Scholze(at)ptb.de