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Erste Messungen am EUV-Strahlrohr der Metrology Light Source

09.05.2012

Abbildung 1: Reflexionsgrad eines Multilayer-Spiegels für den Wellenlängenbereich um 32 nm bei senkrechtem Strahlungseinfall. Gezeigt sind Messkurven an fünf verschiedenen Punkten auf dem Spiegel. Der Reflexionsgrad im Maximum zeigt keine messbaren Unterschiede, lediglich die Zentralwellenlänge für maximale Reflexion variiert leicht zwischen 31,92 nm und 31,93 nm.

Die PTB charakterisiert seit vielen Jahren unter Nutzung von Synchrotronstrahlung optische Komponenten und Empfänger im Spektralbereich des Vakuum-UV und extremen UV. Bisher fehlte jedoch eine Messmöglichkeit im Wellenlängenbereich von 30 nm bis 40 nm. Der Spektralbereich ist z. B. wichtig für die weltraumbasierte sonnenphysikalische Forschung. Eines der Ziele für das neue EUV-Strahlrohr an der Metrology Light Source bestand daher darin, diese Lücke zu schließen. Das EUV-Strahlrohr ging 2011 erfolgreich in Betrieb, so dass nun neben den Hauptaktivitäten zur Weiterentwicklung der EUV-Lithographie im Wellenlängenbereich um 13,5 nm auch Messungen im Bereich um 35 nm möglich sind.

Die ersten Spiegel für den Spektralbereich um 30 nm wurden jetzt im Rahmen von Kooperationen für die Fraunhofer Institute IWS Dresden und IOF Jena charakterisiert. Die Abbildung zeigt beispielhaft das Messergebnis für den spektralen Reflexionsgrad an fünf Punkten auf einem Spiegel. Die Messkurven sind praktisch identisch, was in diesem Zusammenhang sowohl die sehr gute Homogenität der Beschichtung als auch die gute Reproduzierbarkeit der Messung belegt. Untersuchungen an Strahlungsempfängern in diesem Spektralbereich im Rahmen der Zusammenarbeit mit Instituten aus der Weltraumforschung und für industrielle Anwendungen werden in Kürze erfolgen.