Logo PTB

262. PTB-Seminar "EUV Metrology"

12.08.2011

Im Sommer dieses Jahres wurde das neue EUV-Strahlrohr an dem Elektronenspeicherring Metrology Light Source in Betrieb genommen. Aus diesem Anlass führt die Arbeitsgruppe „EUV-Radiometrie“ ein PTB-Seminar zur EUV-Metrologie durch. Ziel der Veranstaltung ist, den zahlreichen Kooperationspartnern der PTB aus der Grundlagenforschung und der Industrie die Messmöglichkeiten im EUV-Bereich an dem neuen Strahlrohr vorzustellen und den fachlichen Austausch zu fördern. Das Seminar ist offen für alle interessierten Wissenschaftler und Ingenieure aus dem Bereich der EUV-Messtechnik. Die Durchführung wird von den Industriepartnern ASML, BESTEC, Bruker und Carl Zeiss SMT sowie dem Helmholtz-Fonds unterstützt.

Ansprechpartner:

F. Scholze, 7.22, E-mail: Frank.Scholze(at)ptb.de