Für die Bestimmung der Messunsicherheit von komplexen Messaufgaben an 3D-Strukturen mit dem Rastersondenmikroskop ist ein softwarebasiertes Verfahren, das Virtuelle Rastersondenmikroskop, entwickelt worden. Dies ermöglicht es, Eigenschaften des Messgerätes, der Antastsonde und der Umgebung zu berücksichtigen, um deren Einfluss auf die Messgröße abschätzen zu können. Dieses Verfahren wurde nun...
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