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Title: | Charakterisierung von Nanostrukturen aund Substraten der Halbleiterindustrie |
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Author(s): | B. Bodermann, J. Flügge and H. Groß |
Year: | 2011 |
Book title: | PTB-Mitteilungen 2/2011 "Themenschwerpunkt Nanometrologie" |
Keywords: | 8.41,Nanometrology |
Tags: | 8.41, Scatter-Inv |