Publications 8.41
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| Title: | Modellbildung, Bestimmung der Messunsicherheit und Validierung für diskrete inverse Probleme am Beispiel der Scatterometrie |
|---|---|
| Author(s): | H. Groß, R. Model, F. Scholze, M. Wurm, B. Bodermann, M. Bär and A. Rathsfeld |
| Year: | 2008 |
| Book title: | Sensoren und Messsystem 2008 |
| Pages: | 337--346 |
| Tags: | 8.41, Scatter-Inv |