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Artikel
Titel: | Bayesian approach to determine critical dimensions from scatterometric measurements |
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Autor(en): | S. Heidenreich, H. Gross and M. Bär |
Journal: | Metrologia |
Jahr: | 2018 |
Band: | 55 |
Ausgabe: | 6 |
Seite(n): | 201 |
DOI: | 10.1088/1681-7575/aae41c |
Marker: | 8.4,8.43, UQ |