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Artikel
Titel: | Challenges in nanometrology: high precision measurement of position and size |
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Autor(en): | H. Bosse, B. Bodermann, G. Dai, J. Flügge, C. G. Frase, H. Gross, W. Häßler-Grohne, P. Köchert, R. Könning, F. Scholze and C. Weichert |
Journal: | Technisches Messen |
Jahr: | 2015 |
Band: | 82 |
Seite(n): | 346-358 |
Datei / URL: | 10.1515/teme-2015-0002 |
Marker: | 8.41, Scatter-Inv |