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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Artikel

Titel: Challenges in nanometrology: high precision measurement of position and size
Autor(en): H. Bosse, B. Bodermann, G. Dai, J. Flügge, C. G. Frase, H. Gross, W. Häßler-Grohne, P. Köchert, R. Könning, F. Scholze and C. Weichert
Journal: Technisches Messen
Jahr: 2015
Band: 82
Seite(n): 346-358
Datei / URL: 10.1515/teme-2015-0002
Marker: 8.41, Scatter-Inv

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