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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Artikel

Titel: A scatterometry inverse problem in optical mask metrology
Autor(en): R. Model, A. Rathsfeld, H. Gross, M. Wurm and B. Bodermann
Journal: Journal of Physics: Conference Series
Jahr: 2008
Band: 135
Ausgabe: 1
Seite(n): 012071
IOP Publishing
DOI: 10.1088/1742-6596/135/1/012071
ISSN: 1742-6596
Web URL: http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/135/1/012071
Schlüsselwörter: 8.41,Scatter-Inv,Scatterometrie
Marker: 8.41,Scatter-Inv

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