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Artikel
Titel: | Improved reconstruction of critical dimensions in extreme ultraviolet scatterometry by modeling systematic errors |
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Autor(en): | M.-A. Henn, H. Gross, S. Heidenreich, F. Scholze, C. Elster and M. Bär |
Journal: | Measurement Science and Technology |
Jahr: | 2014 |
Band: | 25 |
Ausgabe: | 4 |
Seite(n): | 044003 |
IOP Publishing | |
DOI: | 10.1088/0957-0233/25/4/044003 |
ISSN: | 0957-0233 |
Web URL: | http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-0233/25/4/044003 |
Marker: | 8.43,Scatter-Inv,Scatterometrie, 8.42 |