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Beitrag zu Tagungsband
| Titel: | Improved geometry reconstruction and uncertainty evaluation for extreme ultraviolet (EUV) scatterometry based on maximum likelihood estimation |
|---|---|
| Autor(en): | M.-A. Henn, H. Groß, F. Scholze, C. Elster and M. Bär |
| Jahr: | 2011 |
| Buchtitel: | SPIE Proc. 80830N |
| Schlüsselwörter: | 8.41,Scatter-Inv |
| Marker: | 8.41,Scatter-Inv |